創新應用計畫宗旨：產生原創性的奈米材料、元件與技術 技術發展成熟度由『概念發展』推向『原型驗證』 滿足國內奈米產業的需求及增進產業的競爭力

計畫定位 ：由『概念發展』推向『原型驗證』( TRL 2-4)

計畫審查標準：針對在產品端或技術階段發現問題，須回頭解決基礎問題之研究。 對於奈米科技發展中，能解決科學或產業問題，發展具關鍵性之材料、儀器設備或技術方法。 對目前國內業界在奈米科技發展階段，所面臨的迫切待解決問題。